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世界上首台紫外光源22纳米分辨率光刻机中国问世

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发布日期：2018-12-25 来源：科技日报浏览次数：923

核心提示：11月29日，中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收，这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。

11月29日，中科院光电技巧研讨所承当的国度严重科研设备研制项目“超分辩光刻设备研制”经由过程验收，这是世界上首台用紫外光源完成了22纳米分辩率的光刻机。

超分辨光刻装备研制,国家重大科研装备研制项目

中科院光电所科研人员操作超分辩光刻装备(供图：中科院科技摄影同盟)

关键词： 超分辨光刻装备研制国家重大科研装备研制项目，招聘

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